PI PD72Z1x PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)

  PI PIFOC系列的壓電撓性平臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)中提供高動態(tài)性。用于平行和垂直于光軸的XY試樣定位以及物鏡 Z 聚焦的良好適配解決方案可作為標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供。與控制器和所有必需的連接電纜和軟件一起的系統(tǒng)中也可以方便地使用階段。與所有壓電系統(tǒng)一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀在交付時都經(jīng)過測量日志預(yù)先校準(zhǔn)。

-PI用于亞納米分辨率的高動態(tài)壓電驅(qū)動器

-PI帶有數(shù)字控制器、軟件和可選 QuickLock 螺紋適配器的完整系統(tǒng)

-USB、RS-232、模擬接口

-PI行程 100 µm

-PI具有亞納米分辨率的物鏡精細定位

-PI零間隙、高精度撓性導(dǎo)軌系統(tǒng)

-PI使用電容式傳感器進行直接位置測量

-PI與 MetaMorph、μManager 和 MATLAB 兼容

-PI所有伺服控制參數(shù)均可在運行過程中更改

-直接位置測量帶來的大精度

運動直接在運動平臺上測量，不受驅(qū)動或?qū)蛟娜魏斡绊?。這實現(xiàn)了佳的可重復(fù)性、的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)的控制。

-帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證的運動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

-用于快速啟動生產(chǎn)操作的廣泛軟件

得益于MATLAB 和 NI LabVIEW以及所有常見操作系統(tǒng)（Windows、Linux 和 macOS）的支持，集成幾乎可以在所有環(huán)境中成功 - 快速高效。復(fù)雜的編程示例和PIMikroMove等軟件工具大大縮短了生產(chǎn)操作的時間。

PI PD72Z1x PIFOC應(yīng)用領(lǐng)域

-顯微鏡

-共聚焦顯微鏡

-3D成像

-篩選

-自動對焦系統(tǒng)

-表面分析

-晶圓檢測

PI PD72Z1x PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)